近日，位于河北雄安新區的一座納米級微振動實驗室正式投入運營。該實驗室由國家開發投資集團有限公司旗下的中國電子工程設計院股份有限公司自主研發建設，被認定為全球首個同類實驗室，標志著我國在精密裝備微振動環境控制領域實現了重大技術突破。

實驗室的核心裝置是一臺自主研發的微振動模擬實驗臺，其平面尺寸達4米×4米，臺體自重約50噸，設計承載能力高達20噸。這一規格使其成為全球尺寸最大、精度最高的同類設備，能夠滿足大型半導體設備整機及衛星全尺寸載荷的高精度測試需求，填補了國際空白。

在技術性能方面，該實驗臺采用了空氣彈簧主動隔振系統，可高效隔離來自地基及建筑結構的環境振動干擾。實測數據顯示，其可將環境振動降低兩到三個VC等級，在臺面上營造出近乎純凈的微振動環境。同時，實驗臺配備了高精度直線電機作動器，能在0.5Hz至100Hz的寬頻率范圍內實現0.001Gal至5Gal的加速度精密輸出，可模擬極其微弱的背景振動。

實驗臺還具備多模式振動模擬能力，可精確生成正弦波、隨機波和掃頻波，并支持單方向獨立模擬或三方向同步模擬。這一特性使其既能進行特定頻率成分的精細化分析，也能還原復雜真實環境下的多自由度耦合振動場景。

該實驗室的建成填補了我國在微振動試驗方法、精密設備振動容許標準、隔振裝置評價體系及第三方試驗服務等多個環節的技術與市場空白。在半導體領域，實驗室可為光刻機、刻蝕機等核心設備提供標準化的微振動環境評估，幫助廠商優化結構設計，加速國產設備量產進程。在航天領域，實驗室可模擬高分辨率遙感衛星的微振動環境，復現星上振動源對光學載荷的影響，并為低軌互聯網衛星星座的批量化研制提供地面驗證平臺。

作為雄安新區“5+6”產業發展方向的重要布局，該實驗室是中國電子院在微振動環境控制領域數十年科研積累的成果轉化。國家開發投資集團有限公司表示，將依托實驗室的技術優勢，推動更多科創成果在雄安落地，助力當地培育新興產業集群，發展新質生產力。