在半導(dǎo)體行業(yè),設(shè)備管理長期面臨諸多棘手難題。設(shè)備非計劃停機導(dǎo)致的Uptime損失、產(chǎn)線良率波動引發(fā)的Line yield損失,以及設(shè)備工程師高強度工作負荷和人員流動造成知識斷層等問題,一直制約著企業(yè)的穩(wěn)定運營與高效發(fā)展。如今,中用科技推出的設(shè)備智能體憑借創(chuàng)新技術(shù),為半導(dǎo)體設(shè)備管理帶來了全新變革。
中用科技設(shè)備智能體的核心在于序列大模型與知識計算引擎的深度融合,這一技術(shù)組合重構(gòu)了半導(dǎo)體設(shè)備管理模式。在提升機臺Uptime方面,該智能體以智能自動恢復(fù)技術(shù)為突破口,對設(shè)備運行數(shù)據(jù)進行全方位、實時采集。通過捕捉關(guān)鍵參數(shù)的波動趨勢,能夠提前發(fā)現(xiàn)潛在異常,實現(xiàn)設(shè)備健康狀態(tài)的動態(tài)監(jiān)測與精準預(yù)警。同時,依托設(shè)備運行大數(shù)據(jù)和全生命周期壽命模型,主動生成個性化的預(yù)防性維護計劃,將傳統(tǒng)“事后維修”轉(zhuǎn)變?yōu)椤邦A(yù)測性維護”,從根源上消除設(shè)備隱患,杜絕非計劃停機,有效提升機臺的綜合利用率,為產(chǎn)線的穩(wěn)定運行筑牢根基。
針對Line yield的提升,中用科技設(shè)備智能體聚焦于非計劃宕機導(dǎo)致的產(chǎn)品報廢問題。通過實時監(jiān)控設(shè)備健康狀態(tài),精準識別潛在運行風(fēng)險并提前預(yù)警,推動設(shè)備管理從“被動響應(yīng)故障”向“主動預(yù)防異常”轉(zhuǎn)變。同時,建立標準化、高效的故障快速閉環(huán)處置機制,大幅縮短異常響應(yīng)和處置周期,降低設(shè)備運行波動對產(chǎn)線良率的影響。深度打通設(shè)備運行數(shù)據(jù)與產(chǎn)線良率數(shù)據(jù),運用多維度關(guān)聯(lián)分析和根因定位算法,精準鎖定影響良率的核心因素,為工藝參數(shù)優(yōu)化、設(shè)備性能改善和維護策略迭代提供科學(xué)依據(jù),構(gòu)建全流程閉環(huán)管理體系,推動產(chǎn)線良率穩(wěn)步提升。
在降低工程師負荷方面,中用科技設(shè)備智能體展現(xiàn)出顯著優(yōu)勢。通過智能聚類整合和多維度時序?qū)R等技術(shù),精準還原設(shè)備異常的完整過程和傳導(dǎo)路徑。智能體能夠自動過濾90%以上的無效告警和干擾信息,避免工程師被告警風(fēng)暴淹沒,使其能夠快速定位故障根源,縮短故障排查時間,提高故障響應(yīng)和處置效率,讓工程師從繁雜的工作中解脫出來。
知識沉淀也是中用科技設(shè)備智能體的一大亮點。該智能體具備強大的主動學(xué)習(xí)和自主進化能力,每一次設(shè)備異常事件及處置過程都會被系統(tǒng)自動記錄、學(xué)習(xí)和沉淀。它將分散、非結(jié)構(gòu)化的故障案例、人工實操經(jīng)驗與處理流程轉(zhuǎn)化為標準化、可復(fù)用、可傳承的知識資產(chǎn)。隨著持續(xù)積累和模型優(yōu)化,知識體系不斷完善,智能決策能力不斷提升,能夠高效適配更多類型設(shè)備和更復(fù)雜場景的智能化管理需求,實現(xiàn)從經(jīng)驗依賴到數(shù)據(jù)驅(qū)動、從人工決策到智能自治的升級。
中用科技設(shè)備智能體的應(yīng)用已取得顯著成效,可幫助客戶降低30%以上的設(shè)備全生命周期管理成本,有效延長設(shè)備穩(wěn)定運行周期,全面提升產(chǎn)線的可靠性和運營效益。憑借其創(chuàng)新技術(shù)和卓越性能,中用科技設(shè)備智能體正為半導(dǎo)體制造行業(yè)的智能化轉(zhuǎn)型注入強大動力,推動行業(yè)向更高效、更穩(wěn)定的方向發(fā)展。











