阿斯麥（ASML）近日宣布，其研究團隊成功攻克關鍵技術難題，通過提升極紫外（EUV）光刻機光源功率，為芯片制造效率帶來突破性進展。這項技術預計到2030年可使芯片產量提升最高50%，同時顯著降低單顆芯片生產成本，進一步鞏固其在半導體設備領域的領先地位。
據公司極紫外光源首席技術官邁克爾·珀維斯透露，研發團隊已實現光源功率從現有600瓦向1000瓦的跨越。他強調："這不是實驗室階段的演示技術，而是能在真實生產環境中穩定運行的解決方案。新系統完全符合客戶對可靠性、穩定性和持續運行的所有要求。"
技術突破的核心在于對光刻機核心部件——錫滴發生器的革新。現有設備通過單次激光脈沖將錫滴轉化為等離子體，而新系統采用雙脈沖技術，將每秒錫滴發射頻率從5萬次提升至10萬次。這種改進使等離子體生成效率翻倍，為功率提升奠定基礎。珀維斯指出："這需要同時掌握激光控制、等離子體物理和材料科學的納米級精度，技術挑戰極其嚴苛。"
功率提升帶來的生產效益顯著。阿斯麥NXE系列業務執行副總裁滕·梵高表示，升級后的設備每小時晶圓處理能力將從目前的220片增至330片。按每片晶圓可產出數百至數千顆芯片計算，這將直接推動全球芯片產能的躍升。更關鍵的是，極紫外光功率增強使芯片制造的曝光時間大幅縮短，相當于在單位時間內完成更多"光刻打印"作業。
技術團隊已規劃更長遠的發展路徑。珀維斯透露，在實現千瓦級功率后，已看到通往1500瓦的技術路線，理論上突破2000瓦也不存在根本性障礙。這項突破不僅涉及激光與等離子體技術的融合，更要求對材料科學、精密制造等多個領域進行系統性創新。
當前全球芯片制造競爭日益激烈，阿斯麥通過持續升級EUV光刻機核心技術，正在構建更高的技術壁壘。其雙脈沖錫滴技術、高頻率等離子體生成等創新方案，預計將使競爭對手難以在短期內實現技術追趕，從而進一步擴大阿斯麥在高端光刻設備市場的統治地位。
