近日,專注于原子力顯微鏡(AFM)探針研發的探真納米科技(衢州)有限公司宣布完成Pre-A/A輪融資,獲得衢州綠石新材料股權投資合伙企業(有限合伙)與杭州德甫股權投資有限責任公司超千萬元投資。本輪資金將主要用于優化探針批量化制備工藝、提升產品穩定性及良率,同時推進全品類探針研發與新產線建設。
作為納米科技、材料科學及半導體工業的核心檢測工具,原子力顯微鏡通過納米級探針對芯片表面進行精密掃描,承擔著半導體制造中"質量把關"的關鍵角色。其核心消耗部件AFM探針長期依賴進口,不僅價格高昂且供應受限,成為制約科研與產業發展的瓶頸。據行業數據顯示,國內市場99%的AFM探針仍依賴國際品牌,國產化替代需求迫切。
探真納米科技憑借自主創新的干法刻蝕微納加工工藝,實現了從晶圓級材料到探針成品的完整制造鏈條。該技術突破了傳統濕法刻蝕對硅晶向的依賴,可精準調控探針曲率半徑、深寬比等核心參數。公司創始人崔波教授透露,通過二十年技術迭代,干法刻蝕成本已降至可替代濕法工藝的水平,其產品在關鍵性能指標上已達到國際領先水平,部分參數甚至優于國際頭部品牌。
技術優勢轉化為市場認可的速度超出預期。今年年初上市的AFM探針產品已進入多家科研院所采購清單,并在半導體領域實現規模化銷售。某集成電路制造企業測試報告顯示,探真產品價格較國際品牌低30%-40%,在深寬比、針尖壽命等指標上表現相當,掃描圖像質量已滿足產業應用標準。目前制約大規模替代的主要因素在于產品穩定性,但崔波教授表示,通過工藝優化,良率問題將在半年內得到顯著改善。
品牌信任構建成為國產替代的最后一道門檻。崔波教授觀察到,盡管測試階段用戶對國產性能普遍認可,但采購決策時仍傾向沿用Olympus、NanoWorld等國際品牌。"這種使用慣性需要時間打破,我們計劃通過持續技術迭代和案例積累,逐步建立市場信心。"他同時指出,國內完善的產業配套為技術轉化提供了有力支撐,以金剛石探針為例,本土供應商已能提供高質量薄膜材料,形成完整產業鏈閉環。
這家成立于2016年的技術型企業,其研發基因深植于創始人學術背景。崔波教授本科畢業于北京大學物理系,在普林斯頓大學取得電子工程博士學位后,于加拿大滑鐵盧大學從事微納加工研究近三十年。2024年加盟寧波東方理工大學后,其課題組與探真納米保持深度技術協同,目前正圍繞導電探針、磁性探針等特種產品開展攻關,形成覆蓋全應用場景的產品矩陣。











