2 月 5 日消息，西門子（Siemens）昨日（2 月 4 日）發(fā)布公告，宣布收購法國初創(chuàng)公司 Canopus AI，通過引入計算量測（Computational Metrology）和檢測技術(shù)，強化其 Calibre 晶圓制造軟件生態(tài)。

據(jù)西門子透露，該筆交易實際上已于 2026 年 1 月 12 日完成交割。盡管官方未披露具體金額，但業(yè)界估算交易額約在 1.5 億至 3 億歐元（注：現(xiàn)匯率約合 12.31 億至 24.62 億元人民幣）之間。

Canopus AI 是一家總部位于法國格勒諾布爾的創(chuàng)新企業(yè)，成立于 2021 年，專注于利用機器學(xué)習(xí)和人工智能技術(shù)優(yōu)化半導(dǎo)體量測與檢測流程。

Canopus AI 面向量測與檢測領(lǐng)域的機器學(xué)習(xí)及人工智能技術(shù)，通過量測邊緣放置誤差（EPE），優(yōu)化晶圓制造仿真模型

Canopus AI 在行業(yè)內(nèi)開創(chuàng)性地提出了“Metrospection”理念。該理念旨在搭建一個全面的軟件框架，利用 AI 技術(shù)打通傳統(tǒng)晶圓量測與檢測之間的技術(shù)壁壘，通過其特有的 Mapbox 類查看器，用戶可以交互式審查關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）圖像及大批量制造數(shù)據(jù)。

面對器件尺寸微縮和產(chǎn)能擴大的雙重挑戰(zhàn)，大規(guī)模量測已成為保障先進制程良率的關(guān)鍵。西門子計劃將 Canopus AI 的技術(shù)與其 Calibre 產(chǎn)品組合中的“計算光刻”及“制造物理仿真”能力深度整合。

Canopus AI 網(wǎng)頁版 Mapbox 類查看器，支持關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）圖像、HVM（大批量制造）Oasis 及計量檢測數(shù)據(jù)的交互審查。

通過這種互補，西門子將提供一套具備差異化的端到端 EDA 解決方案。這不僅能提升晶圓圖形成像的保真度，還能通過精準(zhǔn)測量邊緣放置誤差（EPE），幫助制造商實現(xiàn)亞納米級的工藝控制。

西門子數(shù)字化工業(yè)軟件總裁 Tony Hemmelgarn 強調(diào)，此次收購彰顯了西門子用工業(yè) AI 解決制造挑戰(zhàn)的決心。整合后的技術(shù)將助力半導(dǎo)體企業(yè)縮短先進制程節(jié)點的量產(chǎn)周期，并加速良率爬升。