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阿斯麥新一代EUV光刻機據悉已具備量產條件
時間:2026-02-27 08:02:01
來源:格隆匯
編輯:快訊
IP:北京
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格隆匯2月27日|荷蘭光刻設備制造商阿斯麥高管表示,公司新一代極紫外光刻機已準備就緒,芯片制造商可開始將其用于大規模生產。該設備單價約4億美元,為初代EUV機型的兩倍。阿斯麥首席技術官馬爾科·皮特斯稱,該設備已累計加工約50萬片硅晶圓,停機時間極低,圖案精度達到量產標準。
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